最新一种超纯氩净化系统的制作方法

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专利名称:一种超纯氩净化系统的制作方法
技术领域
本实用新型涉及工业气体加工领域,具体是一种超纯氩净化系统。
背景技术
按国标気气的纯度可分为纯IS、高纯IS和超纯IS三级,超纯IS是电子加工领中一种重要的工业原料,其对氩气纯度的要求非常高,即使是痕量的杂质,也会导致产品报废。然而,遗憾的是即使工厂能够把氩气提纯到足够的纯度,但由于气体在充装、储存、使用、运输等环节中,高纯气体都存在被污染的可能,为了确保进入使用系统的高纯氩纯度免遭污染,通常在使用点装有超纯气体终端净化器,避免杂质进入生产设备。但因氩气在各环节中可能遭受的污染程度不一,进入终端净化器的氩气杂质含量也有差别,当入口杂质超标,终端净化器未必能够有效的去除氩气中的杂质,进而会影响到后续生产。
发明内容本实用新型的技术目的是解决现有技术中存在的问题,提供一种能够对于各种污染程度的超纯氩做出针对性处理的超纯氩净化系统,其包括电路系统及气路管道系统,其特征在于,包括以下构件I)、控制系统; 2)、氩气杂质成分分析设备,所述分析设备与所述控制系统连接;3)、净化装置,所述净化装置设有多级净化单元,所述净化单元分别与所述控制系统连接,所述净化装置与气源连接的主气路管道在气源接口处设有一密封抽样装置,所述密封抽样装置设有抽样口,所述气源通过主气路管道与一多向电磁阀连接,所述净化单元分别通过支路管道与所述多向电磁阀连接;4)、抽真空装置,所述抽真空装置与所述主气路管道连接,所述抽真空装置通过电路与所述控制系统连接。进一步的,所述抽真空装置可与一废气收集罐连接。本装置在使用时,首先打开气源的阀门,然后从所述密封抽样装置的抽样口通过人工或自动抽样,将样品送至所述氩气杂质成分分析设备,所述分析设备完成分析后,将分析结果传输给所述控制系统,所述控制系统通过相应的软件分析得出气源所含杂质所适用的净化单元,然后控制所述多向电磁阀打开上述净化单元的分支管路与所述主气路管路连通,其余分支管路仍保持关闭,当气源完成净化后,更换气源,进行下一次的净化时,控制系统控制所述抽真空装置抽出所述主气路管路内残留的气体,可通过废气收集罐将所述残留气体收集以回收利用。本实用新型结构简单,安装方便,能够有效保障氩气的纯净化质量,防止杂质含量超标的气体进入生产设备,有效维护生产工艺的稳定运行。

[0011]图I是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
为了阐明本实用新型的技术方案及技术目的,
以下结合附图及具体实施方式
对本实用新型做进一步的介绍。如图I所示,一种超纯氩净化系统,包括电路系统及气路管道系统,具体包括以下构件I)、控制系统I;2)、氩气杂质成分分析设备2,如色谱分析仪等,所述分析设备2与所述控制系统I连接;3)、净化装置,所述净化装置设有多级净化单元,分别为净化单元6、净化单元7和净化单元8,分别针对超纯氩不同级别的杂质含量进行处理,所述净化单元分别与所述控制系统I连接,所述净化装置与气源4连接的主气路管道在气源4接口处设有一密封抽样装·置9,所述密封抽样装置9设有抽样口,所述气源4通过主气路管道与一多向电磁阀5连接,所述净化单元分别通过支路管道与所述多向电磁阀5连接;4)、抽真空装置3,所述抽真空装置3的进气口与所述主气路管道连接,所述抽真空装置3的出气口与一废气收集罐10连接。所述抽真空装置3通过电路与所述控制系统I连接。以上已以较佳实施例公开了本实用新型,然其并非用以限制本实用新型,凡采用等同替换或者等效变换方式所获得的技术方案,均落在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种超纯氩净化系统,包括电路系统及气路管道系统,其特征在于,包括以下构件 1)、控制系统; 2)、氩气杂质成分分析设备,所述分析设备与所述控制系统连接; 3)、净化装置,所述净化装置设有多级净化单元,所述净化单元分别与所述控制系统连接,所述净化装置与气源连接的主气路管道在气源接口处设有一密封抽样装置,所述密封抽样装置设有抽样口,所述气源通过主气路管道与一多向电磁阀连接,所述净化单元分别通过支路管道与所述多向电磁阀连接; 4)、抽真空装置,所述抽真空装置与所述主气路管道连接,所述抽真空装置通过电路与所述控制系统连接。
2.根据权利要求I所述的一种超纯氩净化系统,其特征在于 所述抽真空装置与一废气收集罐连接。
专利摘要本实用新型公开了一种超纯氩净化系统,包括以下构件控制系统;氩气杂质成分分析设备,所述分析设备与所述控制系统连接;净化装置,所述净化装置设有多级净化单元,所述净化单元分别与所述控制系统连接,所述净化装置与气源连接的主气路管道在气源接口处设有一密封抽样装置,所述密封抽样装置设有抽样口,所述气源通过主气路管道与一多向电磁阀连接,所述净化单元分别通过支路管道与所述多向电磁阀连接;抽真空装置,所述抽真空装置与所述主气路管道连接,所述抽真空装置通过电路与所述控制系统连接。本实用新型通过分析设备分析氩气气源内含有的杂质成分及含量,根据分析结果将氩气输送至对应的净化单元中进行针对性的净化,保障了净化质量。
文档编号C01B23/00GK202440312SQ20122003797
公开日2012年9月19日 申请日期2012年2月7日 优先权日2012年2月7日
发明者周旻, 陈军 申请人:南京特种气体厂有限公司

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